封閉式干涉式激光尺

微型激光干涉儀，以工業(yè)應用中最重要的線型標定為核心，將光學相干光路等集成在單個光電芯片上，一步實現(xiàn)激光干涉儀的線型測長和標定功能，從而簡化了干涉儀系統(tǒng)測試時的復雜程度。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

小型化激光傳感模組及基于Patented的無源移動頭等設計，使本產(chǎn)品結構更為簡單，支持高速移動，且安裝時無需精密對中，進一步提升了設備的應用靈活性和效率。

封閉式干涉式激光尺是將多種光學元件和技術集成在單一光學芯片上，這些光學元件數(shù)量達到數(shù)十至數(shù)百個光學元件。這些技術包括激光器、調(diào)制器、光電探測器和濾波器等。通過將這些芯片與激光二極管、探測器陣列和光學透鏡結合，成功構建了一個小型化的激光傳感模組。此外，我們推出的無源移動頭，與傳統(tǒng)光柵尺的有源頭相比，其結構更為簡單，支持高速移動，且安裝時無需精密對中，進一步提升了設備的應用靈活性和效率。通過這種集成化的激光干涉儀技術，在先進制造領域?qū)崿F(xiàn)了廣泛應用，尤其在高精度測量和校準高級數(shù)控機床以及直線電機平臺的線性位移方面，展現(xiàn)出其性能。